磁控濺射鈦靶材主要應用于電子及信息產業，如集成電路、平面顯示屏和家裝汽車行業裝飾鍍膜領域，如玻璃裝飾鍍膜和輪轂裝飾鍍膜等。

為了更能接近磁控濺射靶材的使用者，以便提供更完善的售后服務，全球主要靶材制造商通常會在客戶所在地設立分公司。目前，亞洲的一些國家和地區，如臺灣、韓國和新加坡就建立了越來越多制造薄膜元件等產品的工廠，如IC、液晶顯示器制造廠，對靶材廠商而言，這是相當重要的新興市場。因此，全球靶材制造基地正在快速向亞洲地區聚集。隨著國內半導體集成電路、平面顯示及裝飾鍍膜等高技術產業的迅猛發展，中國的靶材市場日益擴大，已逐漸成為世界薄膜靶材的最大需求地區之一，這為中國靶材制造業的發展提供了機遇和挑戰。近幾年，在集成電路產業基金、國家科技重大專項（01、02、03）及地方基金等國家隊的帶動下，集成電路產業投資可謂大熱，據統計，僅2015-2016兩年間，國內已經宣布在建或計劃開工的晶圓生產線就多達44條，其中300mm 18條，200mm 20條，150mm ６條。在此巨大市場需求的拉動下，靶材產業必將引起了我國有關科研院所和企業的重視和關注，紛紛投入人力、物力、財力從事磁控濺靶材的研發和生產。鈦靶材作為靶材領域的獨特一個分支無論在半導體A1工藝或Cu工藝下都有應用，同時在液晶顯示器行業和裝飾鍍膜行業有著廣泛的應用。目前鈦靶材研發生產的基地主要集中在北京、廣東地區、江浙、甘肅等地。由于靶材原料純度、生產裝備和工藝研發技術的限制，我國鈦靶材制造業還處于初創期，國內鈦靶材生產企業基本屬于質量和技術門檻較低、采用傳統加工方法、依靠價格取勝的低檔次濺射靶材生產者，或獲利有限的代工型加工廠。生產規模小，品種單一，技術還不穩定，迄今為止，中國（包括中國臺灣）僅有幾家生產靶材的專業公司，如有研億金、江峰電子等企業，生產的鈦靶材遠遠不能滿足市場發展的需要，大量鈦靶材還需從國外進口，高純度金屬鈦靶材的原材料已經獲得突破，但是大部分還不得不依賴進口。

鈦靶材作為一種具有特殊用途的材料，具有很強的應用目的和明確的應用背景。脫離金屬鈦的冶金提純技術、EB真空熔煉技術、鈦錠無損探傷技術、高純鈦的雜質分析技術、鈦靶材的制備技術、濺射機臺制備技術、濺射工藝和薄膜性能測試技術單純地研究鈦靶材本身沒有任何意義。鈦靶材的研發生產及后續的應用改進涉及一個從上游原材料到產業中游設備制造商和靶材制造商共同研發、下游鈦靶材鍍膜芯片應用的整個產業鏈。鈦靶材性能與濺射薄膜性能之間的關系，既有利于獲得滿足應用需要的薄膜性能，又有利于更好的使用靶材，充分發揮其作用，促進靶材產業發展。目前正處在集成電路產業在中國大陸蓬勃發展的階段，機遇和挑戰并存，如果不能抓住機遇把靶材制造、薄膜制造和檢測設備國產化，我國與國際水平的差距必將越來越大，不僅不能奪回由外商占領的國內市場，更無法參與國際市場的競爭。

相關鏈接